【30日間返品保証】商品説明に誤りがある場合は、無条件で弊社送料負担で商品到着後30日間返品を承ります。 【最短翌日到着】正午12時まで（日曜日は午前9時まで）の注文は当日発送（土日祝も発送）。 関東・関西・中部・中国・四国・九州地方は翌日お届け、東北地方・新潟県・北海道・沖縄県は翌々日にお届けします。 【インボイス制度対応済み】当社ではインボイス制度に対応した適格請求書発行事業者番号（通称：T番号・登録番号）を印字した納品書（明細書）を商品に同梱してお送りしております。 こちらをご利用いただくことで、税務申告時や確定申告時に消費税額控除を受けることが可能になります。 また、適格請求書発行事業者番号の入った領収書・請求書をご注文履歴からダウンロードしていただくこともできます（宛名はご希望のものを入力していただけます）。 ご満足のいく取引となるよう精一杯対応させていただきます。
ショップ名： 参考書専門店 ブックスドリーム
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著者：山田 洋一, 吉田 安規良出版社：東京堂出版サイズ：単行本ISBN-10：4490107552ISBN-13：9784490107555 ■通常24時間以内に出荷可能です。 ■ネコポスで送料は1?3点で298円、4点で328円。 5点以上で600円からとなります。
ショップ名： もったいない本舗 お急ぎ便店
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半導体デバイス製造を支えるCMP技術の開発動向 ― 最先端半導体製造に不可欠なCMPプロセスの技術と開発動向を網羅 ― ■ 業界最前線の技術者が集結した決定版 半導体デバイスの微細化・高性能化が急速に進む現代において、CMP（Chemical Mechanical Polishing/Planarization）技術は製造プロセスの中核を担う不可欠な要素技術です。 本書は、半導体製造の最前線で活躍する研究者・技術者たちが結集し、CMPプロセスの基礎理論から最新応用技術まで、包括的かつ実践的に解説した待望の一冊です。 スラリー、パッド、計測技術から、GaN基板・ダイヤモンド基板などの次世代材料まで、CMP技術の全領域をカバー。 研究開発現場ですぐに活用できる知見と技術を凝縮しています。 書籍情報 著者 礒部 晶 他 発刊日 2023年8月30日 体裁 B5判並製本 148頁 発行 サイエンス＆テクノロジー株式会社 ISBNコード 978-4-86428-308-3 Cコード C3058 ■ 本書の特徴 ■ 基礎から応用まで網羅 CMPプロセスの基礎理論から最新の応用技術まで、体系的に解説。 初学者から専門家まで幅広く活用できる内容構成。 最新の開発動向を詳解 スラリー、パッド、装置など各要素技術の最新開発動向を第一線の技術者が詳細に解説。 実務に直結する知見を提供。 次世代材料への対応 GaN基板・ダイヤモンド基板など次世代材料に対するCMP技術を紹介。 将来の技術トレンドを先取り。 メカニズム解明 研磨メカニズムの解明と効率改善への応用について詳細に分析。 技術的理解を深め、開発に活かせる内容。 計測・評価技術 実務に役立つ計測・評価技術を実例とともに紹介。 品質向上とプロセス最適化に直結する情報を提供。 豊富な図表・事例 理解を助ける豊富な図表と実際の開発事例を多数収録。 理論と実践の両面から学べる構成。 ■ こんな方におすすめです ■ 半導体製造プロセスエンジニア ■ CMP関連装置・材料メーカーの研究開発者 ■ 半導体デバイスメーカーの技術者 ■ 微細加工技術に関わる研究者・技術者 ■ 材料工学・表面工学を学ぶ学生・研究者 ■ 著者情報 礒部 晶 (株)ISTL 加藤丈滋 大塚電子(株) 杉本 建二 三菱ケミカルエンジニアリング(株) 束田 充 旭ダイヤモンド工業(株) 岡本 宗大 大塚電子(株) 湊 拓也 大塚電子(株) 橋本 洋平 金沢大学 藤田 隆 近畿大学 須田 聖一 静岡大学 畝田 道雄 金沢工業大学 會田 英雄 長岡技術科学大学 土肥 俊郎 (株)Doi Laboratory/九州大学/埼玉大学 久保田 章亀 熊本大学 ■ 目次 第1章 CMPプロセスの基礎と要素技術開発 はじめに 1. CMPの応用工程 1.1 グローバル平坦化 1.2 STI（Shallow Trench Isolation）法 1.3 Wプラグ法 1.4 ダマシンプロセス 1.5 RMGトランジスタ形成 1.6 RMGトランジスタのSACのためのSiNキャップ形成工程 1.7 FinFET 1.8 パッケージ工程 1.9 各種ウエハのCMP 2. CMPの性能向上 2.1 平坦性の改善 2.1.1 グローバル平坦化プロセス 2.1.2 分離プロセス 2.1.3 ウエハ製造における平坦性 2.2 CMPの欠陥制御 2.2.1 マイクロスクラッチ 2.2.2 パーティクル 2.2.3 メタルの腐食 2.3 CMPの生産性改善 おわりに 第2章 CMPプロセスを支える装置・関連資材の開発動向と製品事例 第1節 CMPスラリー技術：フジミインコーポレーテッド社における開発動向 第2節 CMPスラリーの分散性評価技術 第3節 CMPスラリー供給装置 第4節 CMP用パッドコンディショナの開発動向 第5節 CMPプロセスにおける膜厚計測技術とその事例 第3章 CMPプロセスを進化させる要素技術の開発動向 第1節 CMPプロセスにおける研磨圧力と研磨効率の可視化技術 第2節 半導体CMP装置における終点検出技術 第3節 研磨材/水/基材界面の電気特性評価によるCMPメカニズムの解明と研磨効率改善への応用 第4節 曲面研磨に適した小径研磨工具の挙動評価とその指針提示 第4章 CMPプロセスの進展―GaN基板・ダイヤモンド基板の加工技術― 第1節 GaN基板のコロイダルシリカCMP加工の基礎と応用 第2節 ダイヤモンド基板のCMPプロセスの技術開発動向
ショップ名： イーコンプライアンス楽天市場店
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著者鈴木洋(監修)出版社エヌ・ティー・エス発売日2021年08月ISBN9784860437312キーワードぶんさんけいのれおろじーきそひようかせいぎよおうよ ブンサンケイノレオロジーキソヒヨウカセイギヨオウヨ すずき ひろし スズキ ヒロシ9784860437312内容紹介 ■サスペンション、エマルション、フォームのレオロジー！ ■レオロジーの基礎から評価と応用、レオロジーを機能として用いるための技術・ノウハウを各分野の専門家が解説！ ■塗料・塗装、コンクリート、食品、医薬品から化粧品まで網羅！分散系とは，固体微粒子が液体に分散した状態にある懸濁液（サスペンション），乳濁液（エマルション），泡（フォーム）など，微小な径を有する異相が，液体中に分散した系である。 基本的に複雑な混合系となることが多いが，一方で素材工業，食品工業他，さまざまな工業品製造において取り扱われ，製造過程での微粒子等の分散性が最終製品に大きく影響を及ぼすことから，その特性を正確に理解することは非常に重要であり，その手段の1つがレオロジー特性の把握である。 流体の流動性に関する学問体系，レオロジーの特性の把握は，素材の製造過程では非常に重要であるが，一方でレオロジー特性の解釈には正確な基礎学問と豊富な経験的知識が必要になり，技術者の育成には膨大な時間を要するため，多くの製造過程では試行錯誤的なアプローチに頼らざるを得ない現状がある。 本書は基礎編・応用編の2編から構成され，基礎編では分散系レオロジーにかかわる最先端の研究を行っている研究者が，最新の理論，解析法および測定法について概説する。 まずは現在の大学課程では十分に理解されていない，分散系レオロジーの理論的基盤をまず学んでいただきたい。 応用編では分散系レオロジーにかかわって技術開発を行ってきた経験豊かな研究者が，実践的な分散系の取り扱いについて概説する。 実際の分散系にはさまざまなものが混同されており，一般に複雑な挙動を呈するが，実際のハンドリング技術を見ていただき，どのように試料調整を行っているのか，その指針を学んでいただきたい。 （本書「はじめに」から引用・抜粋）【主な目次】第1編 基礎編 第1章 分散系のレオロジーの基礎 第2章 レオロジーの測定と評価 第3章 サスペンション・スラリーのレオロジー 第4章 泡のレオロジー 第5章 エマルションのレオロジー 第6章 レオロジーの制御第2編 応用編 第1章 塗料・インキ・コーティングのレオロジー 第2章 食品のレオロジー 第3章 化粧品のレオロジー 第4章 医薬・機能性流体 第5章 フレッシュコンクリート
ショップ名： bookfan 1号店 楽天市場店
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■ ■ ■カバーに傷みがあります。 小口に汚れがあります。 角折れがあります。 中古ですので多少の使用感がありますが、品質には十分に注意して販売しております。 迅速・丁寧な発送を心がけております。 【毎日発送】 商品状態 著者名 ポ−ラ・ユルカニス・ブル−ス、富岡清 出版社名 化学同人 発売日 2006年09月 ISBN 9784759810691
ショップ名： VALUE BOOKS
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著者：出版社：サイズ：単行本ISBN-10：4621023187ISBN-13：9784621023181 ■こちらの商品もオススメです ■ 新実験化学講座 4 〔1〕 / 日本化学会 / 丸善出版 [単行本] ■通常24時間以内に出荷可能です。
ショップ名： もったいない本舗 おまとめ店
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【30日間返品保証】商品説明に誤りがある場合は、無条件で弊社送料負担で商品到着後30日間返品を承ります。 【最短翌日到着】正午12時まで（日曜日は午前9時まで）の注文は当日発送（土日祝も発送）。 関東・関西・中部・中国・四国・九州地方は翌日お届け、東北地方・新潟県・北海道・沖縄県は翌々日にお届けします。 【インボイス制度対応済み】当社ではインボイス制度に対応した適格請求書発行事業者番号（通称：T番号・登録番号）を印字した納品書（明細書）を商品に同梱してお送りしております。 こちらをご利用いただくことで、税務申告時や確定申告時に消費税額控除を受けることが可能になります。 また、適格請求書発行事業者番号の入った領収書・請求書をご注文履歴からダウンロードしていただくこともできます（宛名はご希望のものを入力していただけます）。 ご満足のいく取引となるよう精一杯対応させていただきます。
ショップ名： 参考書専門店 ブックスドリーム
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■ ■ ■書き込みがあります。 中古ですので多少の使用感がありますが、品質には十分に注意して販売しております。 迅速・丁寧な発送を心がけております。 【毎日発送】 商品状態 著者名 T．W．グレ−アム・ソロモンズ、クレイグ・B．フライル 出版社名 広川書店 発売日 2008年3月31日 ISBN 9784567235037
ショップ名： VALUE BOOKS
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ご注文前に必ずご確認ください＜商品説明＞ミュオグラフィは、素粒子ミュオンを使って巨大物体の内部を描き出す最先端の科学技術である。 50年前に一人の男を惹きつけたピラミッドがミュオグラフィ観測の初舞台となり、10年前、火山を対象にミュオグラフィは花開いた。 そして今、ミュオグラフィは再びピラミッドへ戻ろうとしている。 この歴史的経緯に習い、本書は2部構成とする。 第1部では、主対象であるピラミッドについて知るために、現在「ピラミッドに関してどこまでわかっているのか」を多角的に説明する。 敵=研究対象を知ってこそ、戦い方=研究方法がわかるというものだ。 第2部では、ミュオグラフィの聡明からわが国における火山透視の初成功、火山からさまざまな観測対象への展開そして急速な世界への波及について論ずる。 ＜収録内容＞第1部 ピラミッド(ピラミッドは「墓」なのか?ピラミッドの持つ意味についてピラミッド両墓制論からの視点ピラミッドはどのようにしてつくられたのか?ピラミッドの重さ)第2部 ミュオグラフィ(宇宙からの素粒子ミュオンで巨大物体を視るミュオグラフィの原理ミュオグラフィ研究の加速)＜アーティスト／キャスト＞田中宏幸(演奏者)＜商品詳細＞商品番号：NEOBK-2145538Tanaka Hiroyuki / Cho Oshiro Michinori / Cho / Mi Ogurafui Pyramid No Nazo Wo Toku 21メディア：本/雑誌重量：340g発売日：2017/09JAN：9784621301944ミュオグラフィ ピラミッドの謎を解く21[本/雑誌] / 田中宏幸/著 大城道則/著2017/09発売
ショップ名： ネオウィング 楽天市場店
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ショップ名： 参考書専門店 ブックスドリーム
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【30日間返品保証】商品説明に誤りがある場合は、無条件で弊社送料負担で商品到着後30日間返品を承ります。 【最短翌日到着】正午12時まで（日曜日は午前9時まで）の注文は当日発送（土日祝も発送）。 関東・関西・中部・中国・四国・九州地方は翌日お届け、東北地方・新潟県・北海道・沖縄県は翌々日にお届けします。 【インボイス制度対応済み】当社ではインボイス制度に対応した適格請求書発行事業者番号（通称：T番号・登録番号）を印字した納品書（明細書）を商品に同梱してお送りしております。 こちらをご利用いただくことで、税務申告時や確定申告時に消費税額控除を受けることが可能になります。 また、適格請求書発行事業者番号の入った領収書・請求書をご注文履歴からダウンロードしていただくこともできます（宛名はご希望のものを入力していただけます）。 ご満足のいく取引となるよう精一杯対応させていただきます。
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著者：花田 禎一出版社：サイエンス社サイズ：単行本ISBN-10：4781910815ISBN-13：9784781910819 ■こちらの商品もオススメです ■ 有機化学演習 / 吉原 正邦 / 三共出版 [単行本] ■通常24時間以内に出荷可能です。
ショップ名： もったいない本舗 楽天市場店
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＜p＞物理化学を学ぶために必要な数学を、初等関数からフーリエ級数まで、各項目別に解説した（第1〜10章）。 第11〜14章では、第10章までに学んだ数学・物理の基礎を踏まえて、物理化学の二本柱である「量子化学」と「化学熱力学」の基礎を解説しつつ、それら分野における数学の使い方と問題の解き方を詳述した。 ＜/p＞ ＜p＞
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化学
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